A diferencia de la ruta técnica del controlador de flujo de masa térmica tradicional que depende de la medición indirecta de los atributos térmicos del gas, el controlador de flujo de masa diferencial de presión laminar de facilidad adopta principios innovadores, lo que resuelve muchos puntos dolorosos de los equipos tradicionales desde la raíz. Su núcleo es transformar el gas turbulento en un Estado laminar estable y ordenado a través de elementos laminares de precisión, utilizando sensores diferenciales de presión de alta sensibilidad para capturar directamente la diferencia de presión en ambos extremos de los elementos laminares, combinando la compensación dinámica en tiempo real de la temperatura incorporada y los sensores de presión para lograr un control preciso del flujo de masa. Este método de medición basado en las leyes de la física permite que el producto tenga estabilidad y fiabilidad inherentes y se adapte a las necesidades del proceso de funcionamiento continuo a largo plazo de la fabricación de semiconductores.

La alta precisión y la fuerte estabilidad son las ventajas centrales de los productos de facilidad para adaptarse al proceso de semiconductores. En la fabricación de semiconductores, las pequeñas fluctuaciones del flujo de gas pueden causar problemas como el espesor desigual de la película y la desviación del grabado gráfico, lo que afecta directamente el rendimiento del chip. El controlador de flujo de masa diferencial de presión laminar easy logra una alta precisión y repetibilidad de medición optimizando el diseño y el algoritmo de compensación de los componentes laminares, manteniendo un rendimiento de control estable incluso en el funcionamiento a largo plazo, evitando efectivamente el problema de deriva de precisión causado por el envejecimiento de los componentes o los cambios ambientales en Los equipos tradicionales. Al mismo tiempo, sus características de amplio rango pueden cubrir las necesidades de toda la escena, desde el pequeño flujo hasta el Alto flujo, y un solo equipo puede satisfacer las necesidades de control de flujo de varios enlaces de proceso, reduciendo la complejidad de la configuración del equipo.

Alta adaptabilidad ambiental y compatibilidad de gases permiten a los productos de facilidad hacer frente con calma a las complejas condiciones de trabajo de la fabricación de semiconductores. El proceso de semiconductores no solo involucra gases inertes como nitrógeno y argón, sino que también incluye una variedad de gases corrosivos, y hay fluctuaciones de temperatura y presión en el entorno del proceso. Los productos de facilidad utilizan un canal de acero inoxidable 316L y una carcasa sellada de metal, que puede soportar la erosión del gas corrosivo y mantener un funcionamiento estable en un amplio rango de temperatura y presión, resolviendo los puntos dolorosos con un excelente rendimiento de laboratorio de algunos equipos nacionales pero un bajo rendimiento en las condiciones de la fábrica. Su base de datos incorporada de múltiples gases admite la edición autónoma de la proporción de gases mixtos, sin necesidad de volver a calibrar manualmente al cambiar de gas, lo que mejora en gran medida la eficiencia y conveniencia del cambio de proceso de semiconductores.

Las características simples y duraderas del diseño estructural reducen significativamente los costos de operación y mantenimiento de las empresas de semiconductores. La parte de detección central del controlador de flujo de masa diferencial de presión laminar fácil de usar no tiene componentes activos fáciles de usar, que dependen principalmente de los componentes laminares estáticos y los sensores diferenciales de presión para trabajar, lo que no sólo mejora en gran medida la vida útil del producto, sino que también reduce la incidencia de fallas. En comparación con las necesidades de calibración y mantenimiento frecuentes de los equipos tradicionales, el ciclo de calibración de los productos de facilidad se ha prolongado considerablemente y la carga de trabajo diaria de mantenimiento se ha reducido significativamente, lo que ha reducido efectivamente el tiempo de inactividad de los equipos y los costos de operación y mantenimiento, y satisface las necesidades de producción continua de las empresas de semiconductores.

Como la primera empresa nacional en pasar la certificación relacionada con la diferencia de presión laminar, easy rompió el monopolio extranjero con su capacidad de investigación y desarrollo completamente independiente, y sus productos se han aplicado en lotes en fabricantes nacionales de equipos principales como Fotolitografía y grabado, lo que ha verificado plenamente su capacidad de reemplazar los productos importados. En el contexto de que la cadena industrial se ha convertido en una estrategia nacional de forma independiente y controlable, el controlador de flujo de masa diferencial de presión laminar easy no solo proporciona un plan nacional rentable para las empresas de semiconductores, sino que también promueve la modernización de la industria nacional de instrumentos de precisión a través de la innovación tecnológica.

La sustitución nacional de la industria de semiconductores es una batalla a largo plazo, y el avance de los dispositivos centrales es un eslabón clave. El controlador de flujo de masa diferencial de presión laminar easy se ha convertido en una fuerza importante en la ola de sustitución nacional de la fabricación de semiconductores con sus ventajas integrales de precisión y estabilidad, respuesta rápida, fuerte adaptabilidad, durabilidad y fácil mantenimiento. En el futuro, con la iteración continua de la tecnología, la facilidad consolidará aún más la competitividad central y proporcionará un apoyo más fuerte para el desarrollo independiente, controlable y de alta calidad de la industria nacional de semiconductores.