Puntos centrales del mantenimiento diario

Control ambiental

El SEM es sensible a la temperatura y la humedad, y es necesario mantener la temperatura de laboratorio en 18 - 25 ° C y la humedad ≤ 60% RH para evitar el envejecimiento de los componentes electrónicos debido a altas temperaturas o la corrosión de los circuitos causada por la Alta humedad. El equipo debe colocarse en una plataforma antisísmica independiente, lejos de fuentes de interferencia como puertas y ventanas, respiraderos y fuentes de alimentación de alta frecuencia, y estar equipado con una fuente de alimentación estabilizada UPS para evitar fluctuaciones de tensión. Compruebe la temperatura del agua de enfriamiento antes de arrancar todos los días y apague el sistema de enfriamiento 15 minutos después de apagar para evitar sobrecalentamientos y daños en el filamento.

Mantenimiento del sistema de vacío

El sistema de vacío es la base para el funcionamiento estable del sem. Comprobar diariamente el nivel de aceite de las bombas mecánicas y moleculares para asegurarse de que el nivel de aceite está por encima de la línea estándar; El aceite de la bomba mecánica se cambia cada seis meses, y la grasa del rodamiento de la bomba molecular se cambia una vez al año. Limpie el anillo de sellado de la Cámara de muestras con ultrasonido de cetona cada mes para evitar fugas causadas por la contaminación por partículas. Si el vacío es insuficiente, es necesario utilizar un espectrómetro de masas de helio para detectar los puntos de fuga, centrándose en la inspección de la interfaz de la pistola electrónica y la tira de sellado de la puerta de la Sala de intercambio de muestras.

Limpieza de elementos ópticos

El tubo de la lente y la cabina de la muestra deben limpiarse regularmente. Limpie la Mesa de muestras y la pared interior de la cavidad con papel sin polvo cada semana, elimine las manchas obstinadas con 70% de alcohol o agua desionizada cada mes y prohíba los disolventes orgánicos como la cetona. La superficie del detector necesita ser soplada con nitrógeno o cepillada con pelo blando para eliminar el polvo y evitar la interferencia de la señal; El detector de electrones de dispersión trasera (bse) calibra la ganancia mensual a través de la muestra estándar de película de oro para garantizar un contraste estable de la imagen.

Pistola electrónica y gestión de filamentos

La vida útil del filamento de tungsteno es de aproximadamente 100 - 200 horas, y la vida útil del filamento Schottky de la pistola de lanzamiento de campo (feg) es de aproximadamente 1000 - 2000 horas. Después de la saturación del filamento, debe reemplazarse a tiempo para evitar daños en la pistola de electrones debido a la rotura. La calibración de centrado de la pistola de electrones se realiza cada seis meses para garantizar el enfoque preciso del haz de electrones y evitar la deriva o astigmatismo de la imagen.

Investigación y tratamiento de fallas comunes

Anomalías de la imagen

Negro / sin señal: compruebe la conexión de energía, el Estado del botón de parada de emergencia y el enlace de comunicación de la computadora, reinicie el software y cargue los parámetros predeterminados. Si el problema sigue siendo el mismo, es necesario limpiar el diafragma o realizar una corrección de astigmatismo.

Deriva de la imagen / manchas brillantes: las muestras no conductoras deben pulverizarse con película de oro de 5 - 20 nm o pegar cinta conductora, reducir el voltaje de aceleración a 1 - 5 kV y activar la compensación de enfoque dinámico para compensar la distorsión.

Falla del sistema de vacío

Falta de vacío: comprobar el nivel de aceite y la calidad del aceite de la bomba mecánica de la etapa delantera de la bomba molecular, y detectar el punto de fuga con el método de pulverización de cetona. Si el anillo de sellado de la Cámara de muestra está envejecido, debe limpiarse o reemplazarse por ultrasonido.

Fugas repentinas: cierre la válvula de vacío para aislar el área de fugas, utilice un detector de fugas de vacío portátil para localizar el punto de fuga y reemplazar el anillo de sellado en forma de O.

Inestabilidad del haz de electrones

Fluctuación del haz: comprobar la estabilidad del voltaje de alimentación y configurar la fuente de alimentación ups; Si el material del cátodo se oxida, se necesita un ingeniero profesional para reemplazar el filamento.

Distorsión de escaneo: la corrección de distorsión del método de cinco puntos se realiza con una muestra estándar de la matriz de partículas de oro, y la simetría de la señal de accionamiento de la bobina de escaneo se ajusta a través del software.

Problemas en la preparación de muestras

Efecto de carga: las muestras biológicas se secan en puntos críticos, y las muestras de polímeros activan una mesa de enfriamiento de nitrógeno líquido (- 120 ℃) para reducir la deriva térmica.

Daño térmico: controlar la densidad de haz de electrones < 1a / CM 2 y escanear la zona para evitar el sobrecalentamiento local.

Estrategia de mantenimiento preventivo

Mantenimiento mensual: limpiar la Sala de muestras, reemplazar el aceite de la bomba de vacío y comprobar la ganancia del detector.

Mantenimiento trimestral: calibración de la pistola electrónica para alinear y detectar la eficiencia cuántica del detector (valor qe).

Mantenimiento anual: examen físico completo por ingenieros profesionales, centrándose en la vida útil del cátodo de la pistola electrónica y la estabilidad del campo magnético.

Gestión de piezas de repuesto: reserva de filamentos de repuesto, anillos de sellado en forma de o, refrigerante del detector y detector portátil de fugas de vacío para acortar el tiempo de reparación de fallas.

A través del mantenimiento sistemático y la investigación de fallas, la calidad de imagen de Sem se puede mejorar en más del 30%, y la vida útil del equipo se puede extender a más de 10 años. Se recomienda establecer un registro de uso del equipo, registrar los cambios en los parámetros clave y proporcionar soporte de datos para el diagnóstico de fallas.