Recientemente, Qingdao Xinsheng weina Electronic Technology co., Ltd.(conocido como "qingdao CORE sheng") ha logrado un gran avance en el controlador de flujo de masa de gas (mfc), ha superado las barreras técnicas clave que han obstaculizado el desarrollo de MFC de nivel Semiconductor nacional durante mucho tiempo y ha desarrollado con éxito dos productos MFC de nivel Semiconductor basados es en válvulas proporcionales piezoeléctricas de alta velocidad, que tienen buena precisión, fiabilidad y estabilidad cinco veces mayor que los productos existentes.

　　¿¿ por qué desarrollar el nivel de semiconductores?¿MFC?

MFC， Es decir, el controlador de flujo de masa, es un instrumento de precisión capaz de medir y controlar con precisión el flujo de masa del fluido, y es una unidad funcional clave para garantizar la precisión del proceso y la consistencia del producto. Las metano juegan un papel en todos los aspectos del proceso de semiconductores.ImportanteEl papel, por ejemplo, en los enlaces del proceso (grabado, recubrimiento, etc.), se utiliza para monitorear o ajustar el flujo de cada componente de la mezcla de gas y el vacío del equipo en tiempo real para garantizar una proporción precisa de la mezcla de gas; En el enlace de limpieza de materiales, se utiliza para controlar el flujo de nitrógeno durante el proceso y garantizar el efecto de limpieza y secado; En infraestructuras como la Sala ultraneta, se utiliza para controlar la limpieza del gas ambiente y la velocidad del viento de manera estable a largo plazo. Para garantizar la estabilidad del proceso de fabricación de semiconductores y la calidad del producto, los productos MFC generalmente requieren alta precisión, alta estabilidad, alta fiabilidad y capacidad de respuesta rápida.

En los últimos años, JapónHoriba、 Empresas como Brooks en los Estados Unidos han lanzado sucesivamente válvulas proporcionales de cerámica piezoeléctrica y productos de metano de nivel Semiconductor basados es es en válvulas proporcionales piezoeléctricas, lo que no sólo mejora la velocidad de respuesta, sino que también reduce drásticamente la degradación de la energía neutra, la fiebre y las fugas de aire durante el uso a largo plazo. Aunque algunas empresas nacionales han logrado un buen desarrollo, sus productos siguen utilizando principalmente la tecnología tradicional de válvulas proporcionales electromagnéticas, y la fuerza del producto es insuficiente para satisfacer las necesidades de alta precisión, alta fiabilidad y respuesta rápida de la industria de semiconductores. Recientemente, la tecnología de medición y control de flujo impulsada por piezo - electricidad de alta calidad, altamente confiable y de respuesta rápida, está monopolizada por países extranjeros, con altos precios y riesgo de corte de suministro en cualquier momento, lo que resulta en amenazas a la seguridad de componentes básicos clave en equipos semiconductores importantes del país.

Durante los seis años de guerra comercial entre China y Estados unidos, la industria de semiconductores de China logró un rápido desarrollo mediante el aumento de la innovación independiente, la promoción del desarrollo coordinado de la cadena industrial, la participación activa en la cooperación internacional y el acceso al apoyo político y la inversión de capital. Al mismo tiempo, con la mejora de los procesos de fabricación de semiconductores y el crecimiento de la demanda del mercado, se han llevado a caboLa demanda de localización de metano también seguirá aumentando. Por lo tanto, el desarrollo de metano de nivel Semiconductor y la promoción de la localización de este componente central son cruciales para garantizar la seguridad de la cadena nacional de la industria de semiconductores.

　Diagrama de estructura interna del s700

　　Geometría de la fuerza de Qingdao Core Sheng¿¿ qué?

Qingdao Xinsheng se centra enTecnología de medición y control de flujo de gas, el objetivo se convierte enBuenoProveedor de piezas de semiconductores. El equipo central de la compañía proviene de SingapurA*STAR、 Las principales instituciones de investigación científica nacionales y extranjeras, como el kit alemán, la Universidad de tsinghua, la Academia China de ciencias, la Universidad de Tongji y la Universidad de shandong, dominan las tecnologías básicas independientes de toda la cadena, como chips de detección de tráfico básico, módulos, algoritmos e integración de sistemas. En la actualidad, la compañía cuenta con 23 invenciones, 14 modelos de utilidad y más de 50 certificados de medición de primer nivel; Emprender dos planes nacionales clave de I + D del Ministerio de Ciencia y tecnología y uno de los planes clave de I + D de la provincia de Shandong (grandes proyectos de innovación científica y tecnológica); Se ha construido la Plataforma de investigación y desarrollo "qingdao Core Sheng - Shandong University sensor Measurement and Control United laboratory", "qingdao Key Laboratory of Gas Flow Measurement and Control technology" y "qingdao Gas Flow Measurement and Control Technology Expert workstation", y cuenta con un taller de investigación y desarrollo de 800 metros cuadrados, un taller de fabricación de 4.000 metros cuadrados y más de 100 equipos de calibración de flujo; Con certificación de gestión de calidad y fabricación is09001, is014001, etc.

La estabilidad del mercado depende de una fuerte garantía de la calidad del producto. Después de años de trabajo duro, Qingdao Xinsheng se ha formadoLas líneas de productos maduras y estables, como la serie s300, la serie ut y la serie e, han logrado una sustitución localizada en muchos campos, como la fotovoltaica, la protección del medio ambiente y la atención médica, y han sido reconocidas unánimemente por el mercado. Hoy en día, se han añadido dos productos de medidor de flujo especial para semiconductores, s700 y df500, y se ha comenzado a diseñar el mercado de semiconductores. Al hablar de las ventajas de la compañía y los productos, el fundador de la compañía, el Dr. Tao jifang, dijo: "como empresa local de sensores, las ventajas de Qingdao Core Sheng incluyen principalmente tres puntos: primero, nuestro equipo es lo suficientemente bueno, cada uno tiene una excelente capacidad y una rica experiencia; segundo, tenemos un buen entorno ecológico, la entrega de calidad y cantidad de productos no puede separarse del fuerte apoyo de los socios aguas arriba, y los clientes aguas abajo mantienen una estrecha cooperación; finalmente, Qingdao Core Sheng ha mantenido una inversión de I + D y fabricación de alta intensidad, y la inversión en I + D nos permite mantener la tecnología.AvanzadoLa inversión en fabricación garantiza la calidad de nuestros productos. No involucrarse en el mercado de gama baja es la clave para que rompamos la situación ", agregó el Dr. Tao jifang.

　　Se presentará el nuevo producto de Qingdao Xinsheng2024 "exposición de semiconductores y componentes básicos"

　　"Esto está lejos de ser suficiente", dijo el Dr. lin, Jefe del Centro de investigación y desarrollo de Qingdao Xinsheng company, sobre los nuevos productos de metano de nivel Semiconductor de la compañía. "aunque la compañía ya tiene un lugar en el mercado fotovoltaico y ha obtenido pedidos estables, nuestra capacidad y objetivo no son solo eso, abordaremos los componentes básicos de los equipos semiconductores uno por uno. este s700 y df500 es uno de los grandes avances".

Los dos nuevos productos desarrollados por Qingdao Core Sheng utilizan la tecnología de válvula proporcional piezoeléctrica de alta velocidad y la tecnología de compensación de fluctuación de presión dinámica."La válvula proporcional piezoeléctrica es el componente central de control en el metano, formando un circuito cerrado con el sensor de flujo para lograr un ajuste dinámico y rápido del flujo de gas", dijo el Dr. lin. "en comparación con la válvula proporcional electromagnética convencional actual en china, la válvula proporcional piezoeléctrica tiene una respuesta rápida, una alta precisión de control y un consumo de energía y ruido térmico extremadamente bajo. comenzamos la investigación y el desarrollo de la válvula proporcional piezoeléctrica en 2021 y hemos logrado soluciones tecnológicas clave y de producción en masa como el diseño de apilamiento piezoeléctrico, la optimización de la estructura del ejecutor y el sellado de todo el metal. el rendimiento y la consistencia de la válvula proporcional son muy buenos".

Para satisfacer diferentes necesidades de aplicación, Qingdao Core Sheng ha desarrollado dos productos diferentes, con las siguientes diferencias:

El enfoque de los dos productos es ligeramente diferente, entre ellos,Df500 tiene más ventajas en términos de precisión y tiempo de respuesta en el control de flujo pequeño, que es adecuado para el proceso avanzado de 7 NM / 14 nm; Por su parte, el s700 tiene una selección de rangos más amplia y una temperatura de trabajo, adecuada para el proceso general. "Ambos productos utilizan el último algoritmo de control dinámico adaptativo desarrollado por la compañía, y los clientes pueden elegir según sus necesidades reales. ambos metano utilizan materiales de doble V de nivel Semiconductor y procesamiento ep, que cumplen con los requisitos de semi", dijo el Dr. lin. "ambos productos se mostrarán en la exposición de equipos semiconductores y componentes básicos el 25 de septiembre, y los clientes nuevos y antiguos son bienvenidos a comunicarse".

　　Resumen:

A nivel de semiconductoresEn la pista de metano, la investigación de China comenzó tarde, y la tecnología y los productos están sujetos a los países occidentales, lo que amenaza seriamente la integridad y seguridad de la cadena de la industria de semiconductores de china. En la actualidad, Qingdao Core Sheng ha completado el problema de 0 a 1, y el siguiente paso es cómo lograr mejor el salto de 1 - 100. El ascenso de fabricantes nacionales como Qingdao Core Sheng no solo representa la mejora del nivel tecnológico nacional, sino que también indica que China tendrá una mayor competitividad en el campo de la alta tecnología global.