Proceso de procesamiento de la matriz de microlentesEs una tecnología clave para la fabricación de componentes de matriz compuestos por cientos a decenas de miles de lentes de nivel de micron. con las características de alta integración, rendimiento óptico uniforme y fuerte capacidad de producción por lotes, desempeña un papel importante en los campos de la comunicación óptica, la visualización de imágenes y la biomedicina, y promueve la actualización de los sistemas ópticos a la miniaturización, el peso ligero y la versatilidad.

La Alta integración y la uniformidad del rendimiento son su competitividad central. El proceso permite preparar una matriz de microlentes con un tamaño consistente y una desviación del radio de curvatura inferior al 1% en una base de varios milímetros cuadrados. el diámetro de cada microlente suele ser de 5 micras a 500 micras, y la distancia focal varía de decenas de micras a varios milímetros. En el campo de la comunicación óptica, la matriz de microlentes puede lograr el acoplamiento paralelo de señales ópticas multicanal, mejorando en gran medida la capacidad de transmisión de la comunicación de fibra óptica; En el módulo de cámara del teléfono móvil, el sensor de imagen de la matriz integrada de microlentes puede mejorar la cantidad de luz que entra y mejorar la calidad de imagen en un entorno de baja luz.

Múltiples rutas de proceso se adaptan a diferentes necesidades. El proceso de procesamiento de la matriz de microlentes incluye principalmente el método de fusión térmica de litografía, el método de litografía gris, el método de nanoimpresión, el método de escritura directa láser femtosegundo, etc. El método de fusión térmica fotorresistente forma una columna fotorresistente a través de la fotolitografía, y luego el calentamiento hace que su tensión superficial impulse la formación de una lente esférica. el proceso es simple y el costo es bajo, lo que es adecuado para el campo de la electrónica de consumo. El método de nanoimpresión replica la estructura de microlentes en lotes a través de moldes de alta precisión, con alta eficiencia de producción, lo que puede lograr la fabricación a gran escala de millones de componentes; La Ley de escritura directa láser Femtosegundo no necesita máscara y graba microlentes de formas complejas directamente en el sustrato, que es adecuado para las necesidades de investigación científica y personalización.

La integración multifuncional promueve la innovación tecnológica. El proceso moderno de procesamiento de la matriz de microlentes se puede combinar con recubrimientos, dopaje y otras tecnologías para lograr funciones adicionales como anti - reflexión, polarización y filtro. En el campo de la biomedicina, las matrices de microlentes que integran la función de filtro fluorescente se pueden utilizar en imágenes celulares para mejorar la eficiencia de la detección; En los dispositivos ar / vr, la matriz de microlentes antirreflectantes puede reducir la interferencia de reflexión óptica y mejorar la claridad de las imágenes virtuales. Además, el proceso también puede preparar una matriz de microlentes asféricos y de superficie libre, lo que ofrece más posibilidades para el diseño de nuevos sistemas ópticos.