La fuga de vacío es el problema central que afecta la estabilidad de la máquina de limpieza por plasma, y su posicionamiento debe juzgarse de manera integral en combinación con el método de detección y las características del equipo:

Método de detección de fugas de espectrometría de masas de helio

Adecuado para sistemas de alto vacío (como la cavidad de la bomba molecular), llenando la cavidad con helio de 0,1 mpa, escaneando la interfaz de la brida, la ventana de observación, la válvula electromagnética del camino de gas y otras partes con un detector de fugas. Si se detecta una fuga de helio, es necesario apretar los pernos o reemplazar el anillo o de fluorocaucho (como el sello de la bomba de vacío pfeiffer). Por ejemplo, un equipo no puede alcanzar un vacío de 1 × 10⁻ pa debido al envejecimiento del anillo de sellado de la puerta de aislamiento de la Cámara de vacío previa, que se recupera después de su reemplazo.

Prueba de atenuación de presión

Adecuado para sistemas de vacío medio y bajo (como la cavidad de la bomba mecánica), registrar una apreciación de la presión dentro de una hora después de cerrar la bomba de vacío. Si la tasa de elevación es superior a 0,5pa / h, es necesario comprobar la calibración del medidor de vacío o la contaminación de la pared de la cavidad. En un caso, la tasa de aumento de presión cayó a 0,2pa / h Después de la limpieza por plasma debido a una fuga virtual causada por la adsorción de materia orgánica en la pared interna de la cavidad.

Método de análisis de señales de vibración

Al recoger la señal de vibración durante el funcionamiento de la bomba de vacío, se descompone en diferentes componentes de frecuencia para localizar el punto de fuga. Por ejemplo, un equipo produce una señal de vibración de 120hz debido a la relajación del tubo de conexión de la válvula de vacío, y la fuga se elimina después de la fijación.

2. análisis de las causas del fracaso de la encendido por plasma

Los fallos de encendido por plasma suelen ser causados por anomalías en la fuente de alimentación, el circuito de gas o el sistema de emparejamiento, que deben investigarse de acuerdo con la siguiente lógica:

Falla en la fuente de alimentación de radiofrecuencia

Sin potencia de salida: pruebe la fuente de radiofrecuencia con una carga falsa de 50 omega. si la Potencia se indica a cero, debe reparar el módulo de radiofrecuencia (como reemplazar el tubo igbt); Si las instrucciones son normales, compruebe si el cable de radiofrecuencia tiene un cortocircuito o contaminación de la cavidad.

Potencia reflejada excesiva: ajuste la posición de la hoja del capacitor de la red de coincidencia para que la Potencia reflejada sea inferior al 5% de la Potencia incidente. En un caso, debido al desplazamiento de la posición inicial del capacitor del emparejador, la Potencia reflejada alcanzó el 30%, y el encendido fue exitoso después de la recalibración.

Sistema de vía de gas anormal

Presión insuficiente de aire: verifique si la presión de la fuente de aire está dentro del rango de 0,4 - 0,6 mpa, ajuste la válvula de reducción de presión para que el valor de visualización del medidor de flujo coincida con los requisitos del proceso. Por ejemplo, un dispositivo no puede mantener el plasma debido a la baja presión del gas ar (0,2mpa) y se recupera después del ajuste.

Bloqueo del camino de gas: retire el disco de pulverización de gas, sople el canal con aire comprimido y elimine los residuos de polímero. En un caso, la distribución desigual del gas debido al bloqueo del agujero de pulverización mejoró la estabilidad de encendido después de la limpieza.

Sistema de electrodos y emparejamiento

Contaminación de electrodos: pulir la capa de óxido en la superficie del electrodo superior con papel de arena o reemplazar el nuevo electrodo (por ejemplo, el electrodo de base de aluminio tiene una vida útil de aproximadamente 2000 horas).

Falla de encendido de arco de alta frecuencia: compruebe la distancia entre las barras negras del descargador de chispas (valor estándar de 0,5 mm), si la distancia es demasiado grande, debe ajustarse; Si la barra negra está erosionada, debe reemplazarse (por ejemplo, un equipo no puede encender el arco de alta frecuencia debido a la distancia entre la barra negra de 1 mm, y se recupera después del ajuste).

III. casos de diagnóstico integral

Una máquina de limpieza de plasma al vacío apareció una alarma de "salida sin plasma", y después de la investigación, se encontró que:

Fuga de vacío: la prueba de atenuación de presión muestra una tasa de elevación de 0,8pa / h, la detección de fugas de helio se posiciona al anillo de sellado de la brida de la bomba molecular para envejecer, y el vacío se recupera después del reemplazo.

Anomalía de coincidencia de radiofrecuencia: la Potencia de reflexión alcanza el 15%, y se reduce al 3% después de ajustar la hoja del capacitor de la red de coincidencia.

Contaminación de electrodos: la superficie superior del electrodo está cubierta con polímero negro, y la densidad de plasma aumenta en un 40% después de pulir con papel de arena.

A través de la investigación sistemática, el equipo reanudó el funcionamiento estable y verificó la efectividad de la estrategia de diagnóstico tridimensional "vacío - fuente de alimentación - Circuito de gas".