Dispositivo de escritura directa láser tridimensional interconectado con chipA través de la tecnología de polimerización multiphoton (mpp), se realiza el procesamiento tridimensional real de estructuras de superficie libre a nivel submicron, proporcionando una plataforma de fabricación importante para la integración híbrida de chips ópticos de silicio, circuitos fotónicos de Niobato de litio y dispositivos ópticos cuánticos.
Características principales:
El módulo de procesamiento de ultra alta velocidad mejora en gran medida la eficiencia del procesamiento.
Mecanizado 3D de alta precisión, diseño y procesamiento de superficies libres arbitrarias de estructuras complejas
Sistema de detección confocal y fluorescente para lograr un reconocimiento y alineación de posición de alta precisión
Un sistema automático de alineación y posicionamiento tridimensional con nanoprecisión
Imágenes y mediciones microscópicas de alta definición en tiempo real, procesamiento y detección de sistemas de coordenadas globales
Sistema de Estabilización de energía láser para garantizar la consistencia del procesamiento a largo plazo
Mesa de muestra de adsorción al vacío, adecuada para varios materiales de base
Accesorios especiales para fibra óptica, matriz de fibra óptica y chip fotónico
Compensación automática de potencia láser para eliminar la influencia de defectos en el procesamiento final
Detección y nivelación automática de inclinación del sustrato
Programación visual, proceso de procesamiento personalizado
Ciclo de mantenimiento de componentes clave:
Láser femtosegundo: detección de estabilidad de potencia de salida, mensual, calibración del medidor de potencia;
Sistema de espejo vibrante: rango de escaneo y calibración secundaria, cada seis meses, 140 × 140 micras cuadrados de calibración;
Sistema de control de temperatura: calibración de la fuente de radiación del Cuerpo negro del sensor, trimestral, con una precisión de ± 0,1 ° c;
Módulo de refrigeración: inspección de la presión del refrigerante y la estanqueidad de la línea, semanal (nitrógeno líquido), lectura del manómetro.
Proceso de mantenimiento diario:
Limpieza del sistema óptico:
Use un paño sin polvo para sumergirse en etanol anhidro para limpiar el espejo protector, el espejo vibrante y la ventana láser para evitar arañazos en la capa de recubrimiento.
Al reemplazar el espejo protector, es necesario sellar la boquilla para evitar que el polvo entre en el sistema de camino óptico.
Calibración de la Plataforma deportiva:
Comprobar trimestralmente la precisión de posicionamiento repetido de la Plataforma de cerámica piezoeléctrica tridimensional (+ 10 nm) y verificar a través de la placa de calibración estándar.
La lubricación de la Guía requiere el uso de aceite lubricante especial de nivel nanométrico para evitar que las partículas afecten la precisión del movimiento.