El horno de tubo de vacío es un equipo para calentar y tratar materiales en un ambiente de vacío o ambiente protegido, que es ampliamente utilizado en semiconductores, nueva energía, investigación y desarrollo de nuevos materiales, sinterización de metales y otros campos. Su compra debe considerar de manera integral los parámetros técnicos, la estabilidad del rendimiento, la seguridad y la relación calidad - precio y otros factores. A continuación, se detallan los requisitos de compra de hornos tubulares de vacío desde la perspectiva de los componentes básicos, los requisitos funcionales y el rendimiento de Seguridad.

I. estructura y materiales del cuerpo del horno

1. diámetro y longitud del tubo

- seleccionar el diámetro del tubo del horno en función del tamaño de la muestra (la especificación común es de phi20 - phi100 mm), reservando al menos un 20% de margen de espacio para facilitar la carga y el flujo de gas.

La longitud de la zona de calentamiento debe cubrir las necesidades de calentamiento de la muestra, el modelo convencional es de 200 - 600mm, y las necesidades especiales se pueden personalizar.

2. material del tubo del horno

- tubo de cuarzo: resistente a altas temperaturas (hasta 1100 ° c), buena transmisión de luz, adecuado para atmósferas no corrosivas (como vacío, gas inerte), pero muy frágil y poca estabilidad térmica.

- tubo de Corindón (alúmina): mayor resistencia a la temperatura (hasta 1600 ° c), fuerte resistencia al choque térmico, adecuado para metales activos o atmósferas corrosivas, pero fácil de romper y deformar durante mucho tiempo.

- tubos de acero inoxidable: adecuados para bajas temperaturas ( < 1000 ° c) o atmósferas que contienen hidrógeno, de bajo costo pero con poca resistencia a altas temperaturas y corrosión.

3. elementos de calefacción

Calentamiento de alambre de Resistencia (como alambre de molibdeno, barra de silicio y molibdeno): adecuado para temperaturas medias y altas (menosde 1700 ° c), alta precisión de control de temperatura, pero el alambre de molibdeno es fácil de crujiente en hidrógeno.

Calentamiento por inducción: calentamiento rápido, adecuado para procesos de alta temperatura a corto plazo, pero alto costo del equipo.

- calentamiento por radiación infrarroja: contaminación sin contacto, pero poca uniformidad de temperatura, que debe diseñarse con un reflector.

II. sistemas de vacío y control de la atmósfera

1. requisitos de vacío

- tipo básico: combinación de bomba mecánica + bomba molecular, con un vacío de hasta 10⁻ 3 a 10 ⁵ pa, que satisface las necesidades de sinterización de la mayoría de los materiales.

Tipo de alto vacío: es necesario configurar una bomba molecular de turbina o una bomba de iones, con un vacío de 10 a 10 pa, adecuada para procesos de alta precisión como el crecimiento de la Epitaxia de semiconductores.

2. compatibilidad del ambiente

- aclarar el tipo de atmósfera necesaria para el proceso (como ar, n, h, mezcla) y seleccionar la estructura de sellado correspondiente y el sistema de admisión.

- si se trata de gases corrosivos (como cloro, nh), es necesario utilizar materiales resistentes a la corrosión (como revestimiento de cuarzo + cavidad exterior de acero inoxidable) y configurar el dispositivo de tratamiento de gases de escape.

3. control de la vía aérea

El controlador de flujo de masa (mfc) puede lograr un ajuste preciso del flujo de aire, adecuado para escenarios de mezcla de gas multicanal o conmutación dinámica.

- válvulas de descarga de Seguridad y sensores de presión para evitar el riesgo de explosión de sobrepresión.

III. control de temperatura y uniformidad

1. modo de control de temperatura

- control inteligente de la temperatura de la eip: la temperatura en tiempo real se retroalimenta a través de termómetros (tipo k, tipo s), con una precisión de control de temperatura de ± 1 a 2 grados celsius, que es adecuada para la mayoría de los experimentos.

- control de temperatura por programa de múltiples etapas: soporte para la programación de curvas de calentamiento / aislamiento / enfriamiento de más de 30 etapas para satisfacer las necesidades de procesos complejos (como la sinterización de gradiente).

- termómetro infrarrojo o pirómetro óptico: termómetro sin contacto, adecuado para ambientes de alta temperatura o corrosivos, pero de alto costo.

2. uniformidad de la temperatura

La diferencia de temperatura en la zona de calefacción debe controlarse dentro de ± 5 ° c, que se puede lograr mediante el diseño de un cuerpo de calefacción de doble capa, un canal de aire caliente o un tubo de horno giratorio.

Calibrar regularmente la posición del par térmico para evitar errores de medición de temperatura debido al desplazamiento del par térmico.

IV. rendimiento de Seguridad y funciones auxiliares

1. protección de la seguridad

Protección contra la sobretemperatura: un controlador de temperatura independiente monitorea la temperatura del horno y se apaga automáticamente después de desencadenar.

Protección contra fallos de vacío: cuando el vacío real está por debajo del valor establecido, se carga automáticamente el gas de protección y se detiene.

Diseño a prueba de explosiones: el cuerpo del horno debe estar equipado con una boca de descarga o película a prueba de explosiones para evitar la explosión causada por la expansión instantánea del gas.

2. facilidad de observación y operación

- ventana de Observación de cuarzo: es conveniente observar el Estado de la muestra en tiempo real y requiere un tratamiento de recubrimiento a prueba de radiación de alta temperatura.

- pantalla táctil + interfaz hombre - máquina (hmi): simplifica la configuración de parámetros y el almacenamiento de programas, admite el control remoto.

3 Registro y exportación de datos

- grabadora incorporada o interfaz USB que permite registrar datos como temperatura, presión y flujo en tiempo real para facilitar el análisis posterior.

V. calificación de los proveedores y servicio postventa

1. marcas y casos

- dar prioridad a las marcas con experiencia en la industria (como carbonolite, Thermal technology, Hefei kejing, etc.) para comprobar la reputación de los usuarios de sus productos similares.

- solicitar informes de casos de éxito, especialmente ejemplos de aplicación de escenarios de proceso similares.

2. 定制能力

Las necesidades especiales (como altas temperaturas, tubos de horno de gran tamaño, enfriamiento rápido) deben evaluar la capacidad de diseño no estándar del proveedor.

- confirmar el ciclo de entrega y la garantía (generalmente un año de garantía para los componentes básicos).

3. apoyo post - venta

- si se prestan servicios de capacitación en instalación, orientación en puesta en marcha de procesos y mantenimiento permanente.

El ciclo de suministro y el precio de las piezas de repuesto deben aclararse para evitar costos de uso excesivos en el período posterior.