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I. antecedentes técnicos y resumen de la situación actual
En la actualidad, el análisis de contaminantes volátiles se basa principalmente en la tecnología de espectrometría de masas de cromatografía de gases (conocida como "análisis de temperamento"). Aunque esta tecnología puede proporcionar resultados de análisis precisos, hay limitaciones obvias: el muestreo in situ requiere un tanque suma, que tarda entre unos minutos y decenas de minutos, y después de que las muestras se envían al laboratorio, el análisis de cada punto de prueba tarda al menos más de 30 minutos; Después del experimento, el tanque suma debe limpiarse, de lo contrario puede conducir a una desviación de los resultados; La sensibilidad solo puede cubrir el nivel ppb - ppm, no puede detectar directamente concentraciones más bajas de contaminantes y depende de métodos adicionales de procesamiento de muestras. Estos problemas destacan las deficiencias del largo proceso de análisis de temperamento, los enlaces engorrosos, la velocidad de análisis lenta y la sensibilidad insuficiente, lo que dificulta satisfacer las necesidades de detección rápida de escenas como el aire del taller.

Con este fin, surgió una tecnología de análisis rápida, precisa, fácil de operar y de mayor sensibilidad, la espectrometría de masas de reacción de iones moleculares (imr - ms). Como una nueva rama madura de la espectrometría de masas en los últimos diez años, IMR - MS puede detectar rápidamente residuos orgánicos de moléculas pequeñas (cov), con las ventajas de pruebas simples, fuertes en tiempo real, bajo costo y corto tiempo, y es más competitiva que la espectrometría de masas de cromatografía de gases de laboratorio, la espectrometría de masas de Cromatografía líquida y la tecnología de pruebas móviles a bordo en términos de detección rápida y evaluación de tendencias.
En los últimos años, con el rápido desarrollo económico y la recuperación económica después de la epidemia, los problemas ambientales se han vuelto cada vez más prominentes, la tecnología de espectrometría de masas de reacción de iones moleculares ha atraído gradualmente la atención generalizada de los fabricantes y usuarios, y las tecnologías y productos relacionados han mejorado y madurado continuamente. Entre ellos, el espectrómetro de masas de reacción de iones moleculares ACE 1100 IMR - ms, desarrollado por la compañía coreana Young in ace, ha sido verificado por un gran número de aplicaciones en el campo ambiental, mostrando las características de detección en tiempo real de milisegundos, alta sensibilidad de nivel pptv y costos de mantenimiento extremadamente bajos, lo que ayuda significativamente a mejorar El rendimiento de los productos semiconductores y reducir los costos de producción.
2. características técnicas e indicadores del espectrómetro de masas de reacción de iones moleculares
1. destaca el tiempo real: como espectrómetro de masas en tiempo real, la frecuencia de análisis puede alcanzar una vez por milisegundo, superando con creces la tecnología tradicional.
2. excelente rendimiento de la fuente de iones: la fuente de iones utilizada para el análisis no se ve afectada por la pureza o el volumen de los iones de la muestra, manteniendo un alto rendimiento analítico.
3. separación y selección precisas: se utilizan filtros de cuatro polos de doble masa y cámaras de reacción para lograr una selección de iones rápida y precisa.
4. método cuantitativo: el análisis cuantitativo se realiza a través de la curva cuantitativa combinada con la separación química (mtf), sin necesidad de muestras estándar.
5. cobertura de alta sensibilidad: se puede utilizar 3 iones de reactivos positivos y 5 iones de reactivos negativos para lograr un análisis cuantitativo / cualitativo de los niveles de subppptv.
6. el análisis es amplio: se pueden analizar isótopos, isómeros, compuestos orgánicos volátiles, algunos compuestos inorgánicos y halógenos.
7. simplificación del procesamiento de muestras: las muestras de gas acuoso se pueden analizar directamente sin ningún proceso de preparación de muestras.
III. comparación con la técnica de espectrometría de masas de cromatografía de gases (gc - ms)
| Contenido | GC-MS | IMR-MS |
| Preparación de muestras | - según los analistas, es necesario - las muestras líquidas o sólidas requieren un proceso de extracción adicional - se necesita gas portador adicional para cargar la muestra en la jeringa - las muestras de gas o las muestras del espacio superior requieren menos preparación, pero la sensibilidad también es baja | - inyección directa, sin necesidad de preparación de muestras, Se ahorra mucho tiempo de preparación de muestras. |
| Separación de muestras | - son necesarios los procedimientos de separación - modo dividido o indivisible - se requieren condiciones adicionales de análisis de separación | - tubo de deriva de flujo de inyección directa - sin tiempo de separación, se puede analizar en tiempo real - la Separación mecánica (como la separación de columnas) no es necesaria |
| Tiempo de análisis | - normalmente, se tarda entre unos minutos y 45 minutos | - de segundos a minutos Análisis básico en tiempo real |
| Sensibilidad | - nivel yanak - depende de la matriz de la muestra y del método de ionización | -200 pptv |
| Alcance de la medición | ppb a ppm | ppt ~ 0,1% |
| Movilidad | - precariedad, no disponible para laboratorios móviles | - estabilidad, cumplimiento de los requisitos para uso en laboratorios móviles |
| Ionización | - ionización por bombardeo electrónico (70ev) | - ionización química |
| Cuatro polos | - cuatro polos | - cuatro polos |
Comparación de espectrometría de masas entre la fuente eI y el origen químico

Una muestra más pequeña tiene una mejor relación señal - ruido

2pg, 100 FG de hexafluorobenceno, escaneo completo, selección de iones M / z 283,8
IV. Áreas de aplicación
(1) industria de fabricación de semiconductores
Se utiliza principalmente para el monitoreo de residuos químicos de moléculas pequeñas en talleres de producción y el monitoreo ambiental alrededor de la fábrica. En las líneas de producción de semiconductores, la detección temprana de contaminantes moleculares en el aire (amc) es crucial para la tasa de rendimiento del producto. los AMC comunes incluyen:
- ácido molecular (ma) - base molecular (mb) - molécula condensable (mc) - dopaje molecular (md)
Ii) nueva industria energética
La detección continua en línea de hidrógeno e impurezas aplicada a las pilas de combustible de hidrógeno garantiza el rendimiento y la seguridad de la batería.
Iii) industria médica
A través de la detección de gases respiratorios, se identifican rápidamente microorganismos para la detección de personas de alto riesgo, como diabetes, enfermedades renales y enfermedades respiratorias.
(4) industria automotriz
- detección rápida continua en línea del consumo de aceite del motor
- Pruebas dinámicas de emisiones del motor (especialmente en cumplimiento de las normas nacionales vi)
V) industria ambiental
- trazabilidad del COC ambiental
- evaluación del impacto ambiental de las emisiones de vehículos de motor por carretera
Análisis de la calidad del agua
- evaluación de la calidad del aire interior
(6) industria alimentaria y tabacalera
- detección de impurezas de gas CO2 para bebidas - Análisis de gases de tabaco - Desarrollo de especias y evaluación de olores
V. lista de compuestos de COV detectables
| Clasificación de compuestos | Lista de compuestos |
| Hidrocarburos | |
| Alcanos | Pentano, isooctano, dodecilo (c1 a c16) |
| Olefinas | Etileno, propileno, 1,3 - butadieno, Isopreno |
| Alquenos | Acetileno, butineo |
| Hidrocarburos aromáticos | Benceno, tolueno, estireno, naftaleno |
| Monoterpenos | Limoneno, terpineol / pineno, terpineo |
| Compuestos que contienen oxígeno | |
| Alcohol | Metanol, alcohol isopropílico, alcohol / etanol, fenol, linalol / alcohol alcohólico / alcanfor |
| Éteres y disolventes relacionados | éter butílico |
| Aldo | Formaldehído, acetaldehído, benzalaldehído, vanillard |
| Cetonas | Cetona, diacilo / diacilo |
| ácidos nucleicos | ácido acético, ácido butírico, ácido valerico |
| éster | Metilmetacrilato, acetato de N - butilo |
| Compuestos heterocíclicos que contienen oxígeno | Furano, óxido de etileno, furfural, Maltol |
| Compuestos que contienen nitrógeno | |
| Aminas | Trimetilamina, metanfetamina |
| Amidas | Acetamida, dimetilformamida |
| Nitrilos | 乙腈、丙烯腈 |
| Nitrosaminas | N - nitrodimetilamina, n - nitromorfolina |
| Materia orgánica nitrificada | Explosivos nitrificados (dnt, dnmb) |
| Compuestos heterocíclicos que contienen nitrógeno | Pirrol, piridina, nicotina / nicotina, Indol |
| Compuestos halógenos | |
| Alcanos y olefinas | Bromuro de metano, cloruro de etileno, cloruro de polivinilo |
| Hidrocarburos aromáticos | 1,4 - clorofeno, 1 - bromotolueno, fluorobenceno |
| Freón | Freón - 11, freón - 13 |
| Compuestos que contienen azufre | |
| Mercaptanos y sulfuros | Metilmercaptol |
| Otros compuestos volátiles de azufre | Sulfuro de oxígeno de carbono / azufre carbonil, tiofurano, Dimetilsulfóxido |
| Otros compuestos | |
| Silanos y silanos | Tetrametilsilano, trietilsilanol |
| Siloxano | Metilsiloxano, decametilciclopentilo |
| Compuestos orgánicos de fósforo | Sarín, etil sarín, metilfosfonato |
| Compuestos inorgánicos | Amoníaco, dióxido de nitrógeno, fosfina, sulfuro de hidrógeno |