I,Horno de tubo de zona de temperatura múltiplePreparación antes de la operación

Inspección del equipo

Cuerpo del horno y estanqueidad: compruebe si el tubo del horno, la interfaz de la brida y el anillo de sellado están intactos, sin grietas ni Envejecimiento. Mantenga el vacío durante 30 minutos después de bombearlo (≤ 10⁻ pa), observe si el vacío es estable y confirme que no hay fugas.

Sistema eléctrico: confirme que el cable de alimentación y el cable de tierra están bien conectados y no están expuestos ni dañados. Compruebe si el panel de control muestra normal.

Línea de gas: compruebe si la presión del cilindro de gas (≥ 0,5 mpa), la válvula de reducción de presión y el medidor de flujo son normales, y la línea no tiene fugas (pruebe el conector con agua jabonosa).

Sistema de refrigeración: confirme que la presión del agua circulante (≥ 0,2mpa), la temperatura del agua (≤ 30 ° c), la tubería de agua de refrigeración no está bloqueada.

Preparación de muestras

Tamaño y ubicación: longitud de la muestra ≤ 60% - 80% de la longitud efectiva de la zona de calentamiento del tubo del horno, y diámetro ≤ 80% del diámetro interior del tubo del horno. Suspensión vertical centrada con grúas resistentes a altas temperaturas (como barras de cuarzo y mullita), con una distancia de ≥ 20 mm de la pared interior del tubo del horno.

Tratamiento de limpieza: eliminar el aceite y los óxidos de la superficie de la muestra para evitar la contaminación de los tubos del horno.

Preestablecimiento de parámetros

Procedimiento de calentamiento: establecer la velocidad de calentamiento en secciones (como temperatura ambiente → 300 ℃ / 5 ℃ / MIN → 600 ℃ / 3 ℃ / MIN → 1000 ℃), la temperatura objetivo y el tiempo de cada sección deben ser claros.

Tiempo de aislamiento térmico: establecer el tiempo de aislamiento térmico de los puntos de temperatura clave de acuerdo con las necesidades del proceso (como 1h de descarga de pegamento y 2H de sinterización).

Control de la atmósfera: se seleccionan gases inertes (n¿ C / ar), gases reductores (h¿ c) o modos de vacío para establecer el caudal (por ejemplo, h¿ 200 ml / min).

Velocidad de enfriamiento: se establece de acuerdo con las características del material (por ejemplo, cerámica ≤ 15 ° C / min, Metal ≤ 25 ° C / min).

II. procesos operativos estandarizados

Montaje y sellado del cuerpo del horno

Coloque el tubo del horno simétricamente en el centro del horno, la muestra en el centro del tubo del horno e instale el bloqueo del tubo en ambos extremos.

Instale de acuerdo con el orden de la manga de la brida interior, el anillo de sellado, el anillo de presión, el anillo de sellado y la manga de la brida exterior, y apriete tres tornillos hexagonales para asegurarse de que la brida no se incline.

Conexión de la vía de gas y detección de fugas

Modo de vacío: cierre la válvula de admisión, conecte la bomba mecánica y cierre la válvula de salida de aire después de bombear vacío a ≤ 10⁻ m2 PA.

Modo de atmósfera:

Sople con gas inerte (n Ě / ar) durante 10 minutos, con un caudal de 500 ml / min, y excluya el aire del horno.

Al usar hidrógeno, es necesario usar agua jabonosa para detectar fugas en cada conector, abrir lentamente la válvula principal del cilindro de gas después de confirmar que no hay fugas y ajustar la presión de salida a 0,1 mpa.

Fase de calentamiento

Inicie la fuente de alimentación, seleccione el programa preestablecido y confirme que cada área de temperatura se inicia simultáneamente.

Sección de baja temperatura ( < 500 ° c): calentamiento lento (≤ 5 ° C / min) para evitar el agrietamiento por esfuerzo térmico de la muestra.

Sección de alta temperatura (> 500 ° c): velocidad de ajuste según el material (por ejemplo, obleas semiconductoras ≤ 3 ° C / min).

Monitorear la curva de temperatura en tiempo real para garantizar que la desviación de cada área de temperatura sea ≤ 5 ℃ (en Estado estable ≤ 3 ℃).

Fase de aislamiento térmico

Una vez alcanzada la temperatura objetivo, el sistema cambia automáticamente al modo de aislamiento térmico y la salida de potencia se reduce al valor necesario para mantener la temperatura.

Registre los datos de temperatura regularmente (cada 10 minutos) para asegurarse de que no hay fluctuaciones significativas.

Regulación dinámica de la atmósfera:

Proceso de reducción (como la reducción de metales): la etapa de aislamiento térmico se cambia a h, el flujo aumenta a 300ml / min y el contenido de oxígeno es ≤ 10 ppm.

Proceso de oxidación (como la sinterización de cerámica): se introduce o¿ 2, con un caudal de 100 ml / min, y se controla la presión parcial de oxígeno.

Fase de enfriamiento

Enfriamiento natural: apague la fuente de alimentación de calefacción, mantenga la atmósfera o el vacío y evite la oxidación.

Material cerámico: tasa de enfriamiento ≤ 15 ° C / min.

金属材料：降温速率≤25 ℃/min.

Enfriamiento forzado (opcional):

Cuando se necesita un enfriamiento rápido, se enciende el sistema de refrigeración por aire o agua, pero se debe garantizar que la muestra pueda soportar choques térmicos.

Cuando se enfría por debajo de 200 ° c, se puede introducir aire para acelerar el enfriamiento (es necesario confirmar que el material no tiene riesgo de oxidación).

Operación terminada: después de que la temperatura baje por debajo de 100 ° c, cierre el suministro de gas y libere el vacío (si es aplicable).

III. puntos de control clave y normas de Seguridad

Control de temperatura

Protección contra sobretemperatura: establezca el umbral de alarma de sobretemperatura (como 1100 ° c) y apague automáticamente después de activarlo.

Coordinación de la zona de temperatura: el cuerpo del horno en la zona de temperatura múltiple debe asegurarse de que la diferencia de temperatura en la zona de temperatura adyacente sea ≤ 10 ℃ (cuando se calienta) y ≤ 5 ℃ en estado estable.

Gestión del ambiente

Diseño anti - succión: la tubería de gas está equipada con una válvula unidireccional para evitar que el gas fluya hacia atrás en el horno cuando se detiene el gas.

Monitoreo del contenido de oxígeno: en el proceso de reducción, el contenido de oxígeno se monitorea en tiempo real, y cuando se excede el límite (> 50 ppm), se cambia automáticamente a n barrido.

protección de seguridad

Protección personal: use una máscara protectora, guantes resistentes a altas temperaturas y zapatos resistentes al calor durante la operación.

Tratamiento de emergencia:

Fugas de aire: cierre inmediatamente el cilindro, evacue al personal y revise después de la ventilación.

Sobretemperatura: Presione el botón de parada de emergencia, Corte la fuente de alimentación y active el sistema de refrigeración.

Incendios: uso de extintores de polvo seco, está prohibido usar agua para combatir incendios eléctricos.

IV. mantenimiento posterior a la operación

Limpieza del cuerpo del horno: después de que el cuerpo del horno se enfríe a temperatura ambiente, limpie la pared interior del tubo del horno con un paño suave para eliminar los residuos.

Calibración del termómetro: calibrar con el termómetro estándar cada 3 meses, con un error superior a ± 1,5 ° C que debe reemplazarse.

Reemplazo del anillo de sellado: compruebe la elasticidad del anillo de sellado cada 6 meses y reemplace inmediatamente al envejecer o agrietar.

Registro y archivo: guardar el registro de operaciones (curva de temperatura, flujo de gas, eventos anormales) para facilitar el análisis de trazabilidad.

V,Horno de tubo de zona de temperatura múltipleEjemplos de escenarios de aplicación típicos

Sinterización de cerámica electrónica

Procedimiento de calentamiento: temperatura ambiente → 5 ° C / MIN a 600 ° c (aislamiento térmico 1h) → 3 ° C / MIN a 1100 ° c (aislamiento térmico 2h).

Control de la atmósfera: se conecta con n¿ antes de 600 ℃, y después de 600 ℃, se cambia a una mezcla de n¿ h¿ h¿ 5%.

Tasa de enfriamiento: ≤ 10 ° C / min, enfriamiento natural después de alcanzar los 200 ° c.

Tratamiento térmico de metales

Procedimiento de calentamiento: temperatura ambiente → 10 ° C / MIN a 500 ° c (aislamiento térmico 0,5h) → 5 ° C / MIN a 850 ° c (aislamiento térmico 1h).

Control de la atmósfera: ar durante todo el proceso, contenido de oxígeno ≤ 5 ppm.

Tasa de enfriamiento: ≤ 20 ° C / min, enfriamiento por agua después de alcanzar los 300 ° c.