El medidor de recubrimiento rotativo, también conocido como nivelador de pegamento, sacudidor de pegamento, etc., es un dispositivo utilizado para recubrir uniformemente películas líquidas en la superficie del sustrato. Es un equipo de laboratorio y producción ampliamente utilizado en Ciencias de materiales, fabricación de semiconductores, microelectrónica, óptica y biomedicina, y su función central es recubrir uniformemente películas líquidas (como fotorresistentes, soluciones de polímeros, biomateriales, etc.) en la superficie de sustratos (como pastillas de silicio, láminas de vidrio, láminas de polímero, etc.).
El material líquido se gotea en el centro del sustrato estático o giratorio a baja velocidad, que gira a alta velocidad impulsado por el motor, y la fuerza centrífuga hace que el material líquido se extienda desde el Centro hacia afuera. a medida que la velocidad de rotación se estabiliza, el material líquido forma una película uniforme en la superficie del sustrato. Para los líquidos que contienen disolventes, el disolvente se volatiliza durante la rotación, formando una película sólida o semisólida.
A través de la fuerza centrífuga producida por la rotación de alta velocidad, el recubrimiento rotativo hace que el material líquido se extienda uniformemente y forme una película delgada con un espesor controlable. El proceso específico es el siguiente:
Gotas: aplicar un material líquido, como un fotorresistente, al Centro del sustrato que gira en reposo o a baja velocidad.
Rotación acelerada: el sustrato gira a alta velocidad impulsado por un motor, y la fuerza centrífuga hace que el material líquido se extienda desde el Centro hacia afuera.
Formación de película: a medida que la velocidad de rotación se estabiliza, el material líquido forma una película uniforme en la superficie del sustrato.
Volatilización del disolvente (opcional): para los líquidos que contienen el disolvente, el disolvente se volatiliza durante la rotación, formando una película sólida o semisólida.
Características principales
Alta uniformidad: puede lograr la uniformidad del espesor a nivel nanométrico (+ 2%) y es adecuado para procesos que requieren alta uniformidad de la película, como el recubrimiento fotorresistente y la preparación de recubrimientos antirreflectantes.
El espesor es controlable: al ajustar parámetros como la velocidad de rotación, el tiempo de recubrimiento y la viscosidad del material, el espesor del recubrimiento se puede controlar con precisión.
Amplia gama de aplicaciones: una amplia gama de materiales aplicables, incluyendo soluciones de polímeros, fotorresistentes, tintas, recubrimientos, etc., también se pueden utilizar en sustratos de diferentes materiales, como pastillas de silicio, vidrio y metales.
Precauciones operativas
Al operar, es necesario seleccionar el disco de absorción adecuado, colocar el sustrato en posición, encender la bomba de vacío para asegurarse de que el sustrato se absorbe antes de iniciar la rotación. La acción de goteo de pegamento debe ser rápida y completarse dentro del tiempo prescrito. Después de que el motor se detenga, se puede abrir la tapa superior para quitar la película, y la Cámara de extracción debe limpiarse regularmente para evitar que la inhalación de pegamento bloquee el camino de gas.