I. preparación previa a la operación
Pretratamiento de la muestra: asegúrese de que la muestra esté seca y libre de sustancias volátiles (evite contaminar el tubo), las muestras conductoras se pueden usar directamente, y las muestras no conductoras deben ser tratadas con oro / carbono (para evitar la acumulación de carga eléctrica); El tamaño de la muestra debe adaptarse a la Mesa de muestras para evitar exceder el rango de carga.
Inspección instrumental: observaciónMicroscopía electrónica de barrido de emisiones de campoSi la fuente de alimentación y el sistema de vacío son normales, no hay muestras residuales ni escombros en el tubo de la lente, y el nivel de líquido del sistema de refrigeración (como el nitrógeno líquido) cumple con los requisitos.
Código de seguridad: use guantes protectores (evite que las huellas dactilares contaminen muestras / instrumentos), está estrictamente prohibido encender pistolas electrónicas cuando el vacío no cumpla con los estándares y mantenerse alejado de la boca de Observación de la lente (para evitar la radiación).
II. pasos operativos básicos
1. carga de muestras
Abrir la puerta de la Sala de muestras y fijar las muestras pretratadas a la Mesa de muestras (asegúrese de que la instalación es segura y evite el movimiento);
Cierre la puerta de la Sala de muestras, active el sistema de vacío y espere a que el vacío cumpla con los requisitos del instrumento (generalmente se muestra la luz indicadora "vacío listo").
2. activar la pistola electrónica y la configuración de parámetros
Después de cumplir con el estándar de vacío, abra la pistola electrónica y elija el voltaje de aceleración (ajustado de acuerdo con el tipo de muestra, generalmente 1 - 30 kv, las muestras conductoras pueden ser de alto voltaje, y las muestras no conductoras pueden ser de bajo voltaje);
Establecer la corriente de emisión (seguir el rango recomendado del instrumento para evitar daños excesivos en la muestra o el instrumento).
3. observación y localización de muestras
Ajustar el eje XYZ de la Mesa de muestra y encontrar el área objetivo a través de un microscopio óptico o una imagen electrónica de baja potencia;
Cambiar a la ampliación adecuada (ajustar gradualmente de la baja a la alta, la baja para el posicionamiento y la alta para la observación detallada).
4. ajuste y adquisición de imágenes
Ajustar el brillo y el contraste para que la imagen sea clara (evitar el exceso de luz o oscuridad);
Seleccionar la resolución de la imagen (ajustar según la demanda, alta resolución para el análisis de detalles, baja resolución para la previsualización rápida);
Haga clic en el botón "recoger" para guardar la imagen (puede elegir jpg, tiff y otros formatos).
5. proceso de apagado
Primero apague la pistola electrónica y reduzca el voltaje de aceleración a 0;
Espere a que el sistema de vacío se desprenda (no se puede abrir la puerta por la fuerza), y retire la muestra después de completar la despresurización;
Apague la fuente de alimentación del instrumento, el sistema de refrigeración y limpie la Mesa de muestras y el área de operación.
III. precauciones clave
Cuando el vacío no cumple con los estándares, está estrictamente prohibido abrir la pistola electrónica o abrir la puerta de la Sala de muestras, de lo contrario dañará la lente y la pistola electrónica;
Las muestras deben ser secas y no corrosivas para evitar contaminar el sistema de vacío o el interior de la lente;
Al ajustar el aumento y la Mesa de muestra, la acción debe ser lenta para evitar que la muestra choque con el cilindro;
SiMicroscopía electrónica de barrido de emisiones de campoEn caso de imagen inexistente, descarga y otras anomalías, apague inmediatamente la pistola electrónica, Póngase en contacto con el técnico para investigar y no retire el instrumento por sí mismo.