Principios técnicos:

Tecnología de fuentes electrónicas
Se utiliza una pistola de electrones emitida por un campo Schottky o un campo térmico para separar los electrones metálicos de los grilletes a través de un fuerte campo eléctrico, formando un haz de electrones de alto brillo y alta coherencia. Su brillo supera con creces la pistola de electrones de emisión térmica tradicional, y el diámetro del haz puede ser inferior a 1 nm, lo que mejora significativamente la resolución de la imagen.

Sistema óptico electrónico
Después de enfocarse y desviarse por la lente electromagnética, el haz de electrones forma una pequeña sonda, que se escanea paso a paso en la superficie de la muestra, produciendo electrones secundarios, electrones de dispersión posterior y otras señales. Estas señales son recogidas y procesadas por el detector para generar imágenes que reflejen la morfología y composición de la muestra.

Sistema de vacío
Mantener un entorno de alto vacío, evitar la dispersión de haces de electrones y la contaminación de muestras, y garantizar la estabilidad de la señal. Algunos modelos admiten el modo de bajo vacío y pueden observar directamente muestras acuosas o no conductoras.

Microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo de escritorioParámetros de rendimiento:

Resolución: la resolución de la imagen electrónica secundaria puede alcanzar 1,0 nm, y algunos modelos todavía pueden mantener una resolución de 1,4 nm a baja tensión (1 kv), lo que es adecuado para observar muestras aisladas o sensibles al haz de electrones.

Ampliación: puede ser hasta 1 millón de veces, cubriendo las necesidades de análisis desde la morfología macro hasta la nanoestructura.

Tensión de aceleración: el rango suele ser de 0,2 - 30 kV y admite imágenes de baja tensión para reducir el daño de la muestra.

Detector: detector de electrones secundarios estándar (se), detector de electrones de dispersión trasera (bse) y espectrómetro de energía (eds), que pueden realizar observaciones morfológicas y análisis elemental simultáneamente.

Mesa de muestras: admite muestras de gran tamaño, algunos modelos están equipados con función de rotación inclinada para lograr la observación multiángulo.