En las industrias de precisión, como la fabricación de semiconductores, el recubrimiento óptico y los nuevos materiales energéticos, el control preciso del espesor de la película determina directamente el rendimiento del producto.Con más de dos décadas de acumulación tecnológica, daimei Instrument Technology Service (shanghai) co., Ltd. ha construido un sistema de medición del espesor de la película que cubre las tres vías técnicas de contacto mecánico, interferencia óptica y reflexión espectral, proporcionando a la industria soluciones de escena completa desde la investigación y el desarrollo de laboratorio hasta la medición de la línea de producción.

　　1. medición de contacto mecánico: "percepción táctil" de precisión nanométrica

Para escenarios como recubrimientos metálicos y recubrimientos duros, daimei utiliza un escalómetro de sonda de alta precisión. Su componente central es una sonda de punta de diamante, que registra las fluctuaciones a nivel de micras de la sonda en la superficie de la película a través de un sensor de desplazamiento vertical. Por ejemplo, en la medición de la capa dorada del marco de alambre semiconductor, el equipo puede capturar con precisión los cambios escalonados en el espesor de 50 nm - 10 micras a una velocidad de escaneo de 0,1 mm / s, un intervalo de muestreo de 0,1 micras y un control de fuerza de contacto de 0,1 - 10 mnn. Esta tecnología elimina el error de desgaste de la sonda a través de la calibración multipunto y logra una precisión de repetibilidad de ± 0,05 micras en la detección de recubrimiento de conectores electrónicos automotrices.

　　2. medición de interferencia óptica: "revolución transparente" en la decodificación de ondas de luz

Para las películas transparentes, como lentes ópticas y filtros ópticos, daimei despliega la doble ruta técnica del interferómetro de luz blanca y el elipsometro. El interferómetro de luz blanca utiliza una fuente de luz de banda ancha de 200 - 1000 nm para calcular el espesor de la película analizando el patrón de interferencia de la luz reflejada. En la producción de lentes de teléfonos móviles recubiertas ar, el dispositivo se escanea en un ángulo de incidencia de 75 ° y se combina con el ajuste del modelo Cauchy para completar la medición de 5 × 5 puntos en 3 segundos, con un valor de CVS de uniformidad ≤ 1,5%. El elipsometro, por su parte, obtiene con precisión el índice de refracción y el espesor de la superpelícula de 1 - 500 nm a través del análisis de la diferencia de fase de la luz polarizada P / s, y realiza un control de ± 0,1 nm en la preparación de la capa luminosa oled.

　　3. medición de reflexión espectral: "clave espectral" para penetrar en la opacidad

Para obleas de silicio semiconductor, fotorresistentes gruesos y otros materiales opacos, daimei lanzó el reflector espectral de la serie filmericsf3 - sx. El dispositivo utiliza una luz infrarroja cercana a 980 - 1550 nm para descifrar la estructura interna del fotorresistente su - 8 de 3 mm de espesor midiendo la modulación de fase del espectro de reflexión. En la detección del espesor de la obleas de 8 pulgadas, el punto de luz de 10 micras de diámetro puede penetrar en la película no transparente, combinada con el modelo tauc - lorentz, completando el mapeo de la distribución del espesor de toda la película en 0,5 segundos, con una desviación de repetibilidad inferior a 0,3 micras. Su sistema de diagnóstico integrado también puede monitorear el estrés de la película en tiempo real y proporcionar soporte de datos para la optimización del proceso.

Desde la "percepción táctil" de la sonda de contacto hasta el "análisis de penetración" de la reflexión espectral, el instrumento daimei rompe los límites de medición con una matriz multitécnica. Su equipo no solo pasa la certificación iso17025, sino que también se integra profundamente en el circuito cerrado de producción en masa de semiconductores, fotoelectricidad, nueva energía y otras industrias, escribiendo un nuevo capítulo en la fabricación de precisión de China con un "lenguaje de espesor" preciso.