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Thetametricis FR - scanner es una herramienta de medición compacta de escritorio que mapea automáticamente el grosor del recubrimiento, y el sustrato es adecuado para obleas, versiones de máscara y otros materiales.
El FR - scanner puede medir las características de la película de manera rápida y precisa, como el grosor, el coeficiente de refracción, la uniformidad, el color, etc., y la ventosa de vacío se puede aplicar a muestras de cualquier diámetro u otra forma.