El FR - scanner - AIO - Mi - xy200 es unoMicroscopio integradoEl sistema automático de medición y cartografía del espesor de la película se utiliza para medir el espesor de los recubrimientos de una sola capa y varias capas en obleas de patrón totalmente automático. La plataforma eléctrica de carga X - y ofrece un recorrido de 200 mm x 200 mm de tamaño adecuado y puede proporcionar diversas configuraciones ópticas en el rango espectral de 200 - 1700 nm.