La unidad es un Instituto dependiente de la Academia China de Ciencias y una importante institución de I + D en el campo de la ciencia, la tecnología y los circuitos integrados microelectrónicos en china. Las principales direcciones de aplicación son la investigación relacionada con dispositivos y circuitos semiconductores compuestos.

PLSINTECProducido por la empresaUltraShapeTMEl sistema de detección y clasificación de la morfología y el tamaño de las obleas es un sistema de detección que puede lograr la mayor capacidad de producción de la industria. La detección de la morfología y el tamaño de las obleas es de gran importancia en el proceso.

En todos los aspectos del diseño, fabricación y embalaje de semiconductores, se deben realizar pruebas y pruebas repetidas y repetidas para garantizar que el proceso cumpla con los indicadores preestablecidos y evitar que las obleas no calificadas con desviaciones y defectos entren en el siguiente proceso. Desde la verificación del diseño hasta todo el proceso de fabricación de semiconductores, el equipo de detección tiene una posición importante insustituible.

UltraShapeTMEl sistema de detección y clasificación de la apariencia circular del cristal utiliza un sensor de inyección de doble sonda confocal espectral de alta velocidad de alta precisión para realizar la medición sin contacto de la obleas; Combinando módulos de movimiento de alta precisión y manipuladores de obleas, la precisión de medición de la morfología de las obleas alcanza el nivel submicron. El sistema es adecuado para obleas de varios materiales, incluyendo silicio, carburo de silicio, zafiro, vidrio, arsénico de galio, nitruro de galio, etc. Las medidas de tamaño y estructura que se pueden lograr incluyenTTV,Arco,Warp,Espesor,TIR,Sag,LTV()Mapa completoPruebas) etc.