Recientemente, el proyecto "tecnología e instrumentos de interferometría láser de alta velocidad, multieje y alta resolución", completado por la Universidad de tsinghua, ganó el primer premio al progreso científico y Tecnológico de la sociedad china de metrología y pruebas en 2018.
La Metrología es la base de la Ciencia y la tecnología y una herramienta para que los seres humanos entiendan el mundo. las tres revoluciones tecnológicas del calendario humano están estrechamente relacionadas con los avances en la tecnología de pruebas metrológicas. los logros científicos y tecnológicos de las pruebas metrológicas juegan un papel importante en la promoción y el desarrollo de otras ciencias y tecnologías. La interferometría láser es un medio eficaz para lograr la medición y el control de ultraprecisión y la medición a escala micro - nanométrica, una forma importante de garantizar la nanomedición trazable y una tecnología clave de medición y prueba hacia una potencia metrológica y una Potencia manufacturera.
El equipo del proyecto se centra en el posicionamiento de ultraprecisión de la Mesa de trabajo de la fotolitografía, la medición metrológica básica y la aplicación de instrumentos.InterferómetroNecesidades de medición como Alta dinámica, alta resolución, escala cruzada y trazabilidad, llevar a cabo investigaciones en profundidad sobre cuestiones científicas y tecnológicas comunes en la instrumentación de principios, métodos y sistemas de medición, romper las tecnologías clave como la interferencia multieje integrada, la demodulación de señales y la compensación del índice de refracción, y formar un conjunto completo de sistemas autónomos de interferometría láser de alto rendimiento; Se proponen una serie de métodos de medición de interferencia láser rastreables a la referencia de longitud o frecuencia para lograr una medición de alta precisión con incertidumbre de piel y nanoescala; Se han formado una serie de resultados de productos de conocimiento, que apoyan el posicionamiento de alta precisión de la fotolitografía desarrollada independientemente en china.ResonadorLa demodulación de señales y otras aplicaciones fueron seleccionadas en la exposición nacional de logros de innovación científica y tecnológica del 12º plan quinquenal.
El proyecto realiza un sistema de medición de interferencia láser de alta velocidad, multieje, gran alcance y alta resolución desarrollado por toda la cadena, desde componentes de interferómetro, detección y demodulación de señales hasta el diseño de esquemas de detección de múltiples grados de libertad, y propone un método de medición de longitud de precisión de interferencia láser serializado con trazabilidad de frecuencia óptica. Hasta ahora, el proyecto ha sido autorizado a inventar más de 20 artículos especiales y ha publicado más de 30 artículos incluidos en sci.
Además, la doble frecuencia de la fotolitografía desarrollada por el equipo del proyectoInterferómetro láserEl sistema se ha aplicado con éxito en el proceso de investigación y desarrollo del prototipo de la Mesa de trabajo de la fotolitografía de autodesarrollo en china, con un total de más de 50 juegos aplicados, lo que satisface bien las necesidades de medición de precisión del prototipo de la Mesa de trabajo doble de la fotolitografía, apoya la formación de la capacidad del interferómetro láser de doble frecuencia para la fotolitografía, reduce la Dependencia de los instrumentos extranjeros y proporciona una excelente capacidad de medición y trazabilidad para la investigación y el desarrollo de equipos e instrumentos en China que no están sujetos a personas.
El "premio al progreso científico y Tecnológico de la sociedad china de metrología y pruebas" es un premio provincial y ministerial de progreso científico y tecnológico registrado en la Oficina Nacional de premios de Ciencia y tecnología. Entre ellos, los proyectos que declaran el primer premio requieren que la tecnología general se haya aplicado oficialmente durante más de tres años y se hayan obtenido mayores beneficios económicos o sociales. En la actualidad, los productos se han aplicado con éxito en aeroespacial, fabricación de automóviles, pruebas de máquinas herramienta y otros campos, convirtiéndose en una poderosa herramienta de apoyo para mejorar la calidad de los productos fabricados en china.