Introducción del equipo

Microscopio electrónico de barrido + exposición de haz de electrones

La microscopía electrónica de barrido Zeiss Sigma 300 se utiliza para observar la estructura superficial de los materiales conductores a nivel de micras y submicrones, y tiene una amplia gama de usos. La Dirección de la materia condensada se utiliza principalmente para comprobar la identificación de los resultados de los circuitos en miniatura, guías de onda y otros materiales hechos.

La microscopía electrónica de barrido está equipada con el software de exposición de haz de electrones reith, que puede realizar el diseño y exposición de circuitos de dimensión, con un campo de escritura máximo de 1000um y una precisión máxima de 100nm.

Indicador de rendimiento: resolución: 20nm - 10kv, tensión de aceleración: 100v - 30kv, amplificación: 50 - 500k, detector: detector electrónico secundario se2, detector inlens y Cámara de transferencia infrarroja.

Aplicación principal: adecuado para la observación de la morfología de la superficie de materiales conductores y no conductores, para obtener imágenes electrónicas secundarias de la morfología de la superficie.

Requisitos de la muestra: muestra seca sólida no en polvo, la superficie de la muestra está limpia, libre de aceite, no magnética y no es fácil de magnetizar, la muestra no debe contener hierro (fe), cobalto (co), níquel (ni). La altura es inferior a 20 mm y el diámetro es inferior a 50 mm. las muestras porosas o solubles en humedad deben secarse al vacío con antelación. Las muestras deben ser conductoras. Si la muestra no conduce la electricidad, es necesario realizar el tratamiento de películas conductoras como el chapado en oro y el carbono.

Nota: el artículo se reproduce en la Plataforma de anuncios de la facultad de física y Astronomía de la Universidad Jiaotong de shanghai.《Microscopía electrónica de barrido & exposición por haz de electronesLibro