I. nombre del instrumento

Nombre chino:Microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo

Nombre en inglés:Microscopio Electrónico de Escaneo de Emisión de Campo

2. modelo:ZEISS GEMINI 500

3. fabricante:La compañía alemana ZeissZEISS

IV. introducción al instrumento:

ZEISS Gemini 500El microscopio electrónico de barrido es un microscopio electrónico de barrido de emisiones de campo totalmente funcional..FE-SEM) se puede realizar con electrones secundarios y de dispersión de espalda en alta resolución, alto contraste y alta relación señal - ruidoEn la lenteDetección, incluso las muestras no conductoras exigentes pueden obtener imágenes claras, que pueden hacer imágenes de contraste y bajo voltaje de varias muestras. Al mismo tiempo, contiene BrookeXEl espectrómetro de energía de rayos X se puede utilizar ampliamente en el análisis de morfología y composición de la microregión.

V. principales características e indicadores técnicos del instrumento:

1Resolución:≤0,6 nm@ 15KV(electrónica secundaria), "≤1.1nm@1kV(electrónica secundaria, sin ningún modo especial); ≤1,2 nm@ 500VV;

2. Ampliación:20 - 2 millones

,De acuerdo con los cambios en el voltaje de aceleración y la distancia de trabajo, el aumento se calibra automáticamente, y la baja y alta tasa no necesitan ningún cambio de modo;

3. Pistola electrónica: shotkiLanzamiento de campo térmicoPistola electrónica;

4. Rango de voltaje de aceleración o aterrizaje:0,02 kV-.30 kV, paso a paso10V, ajustable continuamente;

5. Corriente de la sonda: corriente máxima ≤100nAV;

6. Hay un diseño de lente estática en el tubo de la lente, que puede corregirMateriales ferromagnéticosRealizar imágenes de alta resolución;

7. Puede acomodar el tamaño máximo de la muestra ≥200 mm, altura máxima de la muestra ≥60 mmV;

8. El motor central de cinco ejes youxin conduce la Mesa de muestras y se mueve en el rango máximo.Indicadores:X≥130mm,Y≥130mm,Z≥50mm, inclinación bidireccional, rango de inclinación- 3 ° - 70 °, rotación ≥360 °(rotación continua);

9. La Cámara de muestras cuenta con un detector electrónico independiente de retrodispersión..EsB);

10. Detector electrónico secundario en la Sala de muestras..SE);

11. Ultra alta resolución instalada en el eje óptico positivo del tuboEn lenteDetector electrónico secundario..En-Lens SE);

12. Equipado con cerradura de aire..bloqueo de aire), el tiempo de vacío de la muestra de reemplazo es más corto;

13. Espectrómetro de energía ≥60 mm²Superficie de la zona activa

6. las principales funciones y usos del instrumento:

1. Observación morfológica microscópica de materiales en Ciencias de materiales (materiales metálicos, materiales no metálicos, nanomateriales, materiales orgánicos), ciencias químicas, metalurgia, biología, medicina, materiales y dispositivos semiconductores, exploración geológica, reconocimiento criminal, producción industrial y otros campos. (las muestras líquidas deben secarse completamente antes de que se puedan probar)

2. El análisis de la composición de la microzona en tiempo real del material, el análisis cuantitativo y cualitativo de la composición de los elementos, el escaneo rápido de la superficie prima múltiple y la medición de la distribución del escaneo de puntos y líneas.

7. imágenes del instrumento

8. ejemplos de aplicación

1. Análisis morfológico:

Para preparar la nanoestructura de plata metálica, un grupo de investigación necesita observar su microestructura, verificando así que el Nanomaterial de plata tiene buenas perspectivas de aplicación en el campo de la catálisis. Utilizamos diferentes amplitudes, diferentes modos de escaneo y pruebas de espectro de energía para probar la muestra, y los resultados son los siguientes:

1.1 Observación de diferentes amplitudes

1.2 Observación en diferentes modos de escaneo

2. EDSAnálisis cualitativo de los elementos:

2.1Escaneo de puntos

2.2 Escaneo de línea

2.3 Escaneo facial

Nota: el artículo se reproduce en el Departamento de Ciencia e ingeniería de materiales de la Universidad Tecnológica de qilu.Zeiss g500 microscopía electrónica de barrido de ultra alta resolución".