I. antecedentes del proyecto: los semiconductores marcan el comienzo de la segunda curva de desarrollo

Impulsada por la inteligencia artificial generada, la industria de semiconductores ha repuntado bruscamente en los últimos dos años. Según muchas previsiones, la industria de semiconductores seguirá creciendo.2030Se espera que el año avance1Un hito de billones de dólares. En nuestro país, frente a la grave realidad de que los semiconductores están 'atascados', su velocidad de desarrollo es rápida y su demanda es grande. El Estado también concede gran importancia al desarrollo de semiconductores y sigue proponiendo políticas de apoyo.

2. perfil de la empresa: comprometido con la localización de la tecnología de semiconductores

Una empresa de semiconductores con servicios científicos y tecnológicos precisos se compromete a la sustitución de la localización y se especializa en el diseño del proceso de carburo de silicio. después de años de acumulación de procesos, actualmente forma una serie de productos como equipos de proceso de grabado y equipos de proceso de depósito de película delgada, que se utilizan principalmente en la etapa de proceso de canal delantero de semiconductores, como el carburo de silicio, el nitruro de galio y otros procesos de semiconductores compuestos.

3. demanda de condiciones de trabajo: superar el ciclo de suministro y garantizar la calidad de la producción

La empresa de semiconductores proporciona a los clientes aguas abajo equipos como depósito de película delgada, grabado y desembalaje para hacer y depositar capas de película delgada en materiales de base para formar capas funcionales de chips. Depósito químico en fase de vapor..CVDDurante el proceso, es necesario evaporar y mezclar el material de origen líquido con Un evaporador mixto Gas - líquido, formando así una película uniforme durante el proceso de deposición.

La empresa de semiconductores necesita reemplazar una marca extranjera y plantear las siguientes necesidades:
1.Ciclo de suministro corto y estableV;
2.Asegúrese de que el líquido se evapore completamente;
3.Velocidad de respuesta rápida y salida uniforme de gas evaporado mixtoV;

4.La precisión del flujo de líquido cumple con los estándares prescritos.

IV. solución: ciclo de suministro corto para garantizar la calidad de la producción

Después de comprender las necesidades, diseñamos un sistema de evaporación mixta Gas - líquido para nuestros clientes de acuerdo con los medios mixtos y las condiciones de trabajo.

El sistema está equipado con un mezclador de evaporación controlablex1, controlador de flujo de masa líquidax1, controlador de flujo de masa de gasx1, controlador de temperaturax1.

Figura: productos mezcladores de evaporación controlables acu20cem para sistemas de evaporación mixta Gas - líquido

La configuración del sistema es la siguiente:

Mezclador de evaporación controlable:El rango máximo de gas es de 10 ln / min y el rango mínimo de líquido (agua) es de 120g / H.
Controlador de flujo de masa líquida:Precisión ± 0,25% f.s y precisión de repetición 0,05% F.S.
Controlador de flujo de masa de gas:Precisión ± 0,5% f.s y precisión de repetición ± 0,2% F.S.

Controlador de temperatura:Se puede controlar hasta 200 ° C a 300 ° C de alta temperatura, lo que cumple plenamente las condiciones de evaporación del medio designado.

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