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Aplicación de nitrógeno disuelto en agua de función semiconductora
Fecha:2025-12-03Leer:1

Con el aumento de los requisitos de refinamiento del proceso y el aumento de la presión de costos, el monitoreo de la calidad del agua de las empresas ya no es“Los parámetros cumplen con los estándares",Tan simple, está más relacionado con la estabilidad del proceso, la gestión del consumo de energía, la vida útil del equipo y la eficiencia operativa general.

Hashi continúa ampliando la profundidad y amplitud del monitoreo de la calidad del agua, cubriendo parámetros clave y escenarios de proceso. en condiciones de trabajo complejas:

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Se espera que con soluciones de detección de calidad del agua más profesionales y ricas, le ayude a construir un sistema operativo más eficiente, seguro y confiable.

Aplicación de nitrógeno disuelto en agua de función semiconductora

Introducción de antecedentes

En el Palacio de alta tecnología, los chips semiconductores son sin duda la perla brillante. Sin embargo, el nacimiento de esta perla no se logró de la noche a la mañana, y detrás de ella se esconden innumerables procesos artesanales finos y rigurosos. En estos muchos enlaces, los requisitos de pureza del agua han alcanzado un nivel casi exigente. Por lo tanto, el agua ultrapura juega un papel vital en la producción de chips semiconductores.

¿¿ por qué se debe controlar el nitrógeno disuelto en el agua de la máquina?

El agua ultrapura es el agua de proceso de la industria microelectrónica, y las fábricas de semiconductores utilizarán agua ultrapura en grandes cantidades, principalmente para la limpieza húmeda antes y después de cada proceso. Además de eliminar el gas del agua ultrapura, para cumplir con los requisitos de uso de algunas máquinas semiconductoras específicas, también es necesario agregar gas al agua ultrapura para satisfacer las funciones específicas de la máquina, que también se llaman agua funcional.

El agua funcional cambia el contenido de la solución mediante la adición de una concentración específica de sustancias.ZETAPotencial (se refiere al potencial de la Sección de corte, también conocido como potencial eléctrico o potencial eléctrico, que es un indicador importante para caracterizar la estabilidad del sistema de dispersión coloide). El concepto de potencial químico se utiliza para cambiar la distribución de iones en la superficie del objeto de limpieza y obtener el efecto de repulsión de la misma carga eléctrica, mejorando así la tasa de eliminación de algunas partículas nanométricas. EnCMPEn el sistema (pulido químico - mecánico), la planitud global o local de la obleas se logra a través de reacciones químicas y ciclos de procesos de eliminación mecánica. a medida que los requisitos de la obleas son cada vez más altos, el proceso es cada vez más complejo.CMPDe decenas de limpiezas originales a cientos o más limpiezas actuales, al tiempo que se introducen algunos gases especiales en el proceso de pulido, lo que mejoraCMPLa tasa de eliminación de materiales y la calidad de la superficie reducen la tasa de deterioro del producto.

Para lograr un mejor efecto de limpieza, generalmente se agrega nitrógeno al agua ultrapura, pero también se necesita un control preciso de la disolución del nitrógeno disuelto. HashiOrbisfera 511La serie de Analizadores de nitrógeno disuelto en línea tiene una capacidad precisa y poderosa de monitoreo de procesos.

¿¿ cómo controlar con precisión el nitrógeno disuelto?

Una fábrica de electrónica nacional instala unaOrbisfera511El analizador de nitrógeno disuelto en línea (como se muestra a continuación) es un dato de un período de tiempo determinado, y los datos son estables a largo plazo.10 ~ 16ppm.

Según los comentarios del personal en el lugar,HACHEl nitrógeno disuelto tiene un excelente desempeño en el sitio y una baja cantidad de mantenimiento, por lo que solo se necesita mantenimiento una vez al año.

desdeOrbisfera511A juzgar por la situación de la aplicación in situ,511El diseño de la sonda de la serie de productos puede garantizar que la medición del sensor sea precisa, confiable y el tiempo de respuesta sea corto. el excelente mecanismo de compensación de temperatura incorporado garantiza la amplia aplicabilidad del instrumento. a través del cual los usuarios monitorean el nitrógeno disuelto en línea, logran un control preciso del agua funcional, proporcionan datos de monitoreo efectivos para el control del proceso de agua de los usuarios y, al mismo tiempo, garantizan el funcionamiento estable del proceso de la sección posterior del usuario.