En el proceso de litografía ultravioleta profunda de semiconductores, nh, hcl, HF y otros contaminantes moleculares del aire AMC de magnitud de marca se pueden llamar "asesinos invisibles" de la calidad del producto, y su reacción con fotorresistentes de amplificación química afectará directamente el rendimiento de los dispositivos semiconductores, mientras que los métodos tradicionales de monitoreo son complejos, lentos y precisos, lo que dificulta satisfacer las necesidades de monitoreo preciso en tiempo real de la industria. En este contexto, duquetec lanzó el sistema de monitoreo de contaminantes moleculares del aire Orión 3100s AMC para romper los puntos dolorosos de la industria con tecnología y proporcionar soluciones para el monitoreo de salas limpias de semiconductores.

Como equipo de monitoreo adaptado a la industria de semiconductores, la ventaja central del sistema de monitoreo de contaminantes moleculares del aire Orión 3100s AMC proviene de la tecnología ceas (espectro de absorción mejorado de cavidad). En comparación con los métodos tradicionales de medición indirecta, como filtros de polvo de impacto, cromatografía iónica y tecnología crds, el sistema no necesita alinear estrictamente los rayos láser, tiene una instalación simple y una fuerte estabilidad mecánica, y puede capturar contaminantes de trazas de manera rápida y precisa. Su precisión de detección alcanza el nivel de la industria, el límite de detección de HCl y HF es tan bajo como 0,1 ppb, y el límite de detección de NH es inferior a 0,1 ppb, logrando la medición en tiempo real de nivel Sub - ppb, evitando efectivamente la interferencia cruzada de vapor de agua, co2, o¿ y otros componentes en la atmósfera, asegurando que los datos sean precisos y confiables.

El sistema se adapta plenamente al escenario de producción de semiconductores en el diseño funcional y tiene una competitividad central multidimensional. La velocidad de respuesta es extremadamente rápida, cada canal tarda solo 5 segundos en completar la detección, junto con la configuración flexible del canal 1 - 64, puede cubrir un área de medición ancha para satisfacer las necesidades de respuesta de alta sensibilidad de múltiples gases. El ordenador del sistema Linux incorporado admite almacenamiento masivo de datos y salida de múltiples interfaces, y a través de ethernet, rs485 / RS232 o módulos analógicos 4 - 20ma, se pueden integrar 4 - 6 Datos del analizador. El software exclusivo Duke HMI integra funciones como el control de muestreo multipunto, la visualización de curvas de datos en tiempo real, la alarma y el análisis de tendencias históricas, y es más compatible con el control remoto de la red. los usuarios pueden realizar operaciones de permisos de varios niveles en cualquier lugar de red con la ayuda de un navegador, y también pueden conectarse a la Sede de Duke Tek o al proveedor de servicios para el diagnóstico remoto.

Además, el sistema de monitoreo de contaminantes moleculares del aire 3100s AMC de Orión es obviamente conveniente y económico. Se utiliza un Gabinete móvil de acero inoxidable 310, plug - and - play, y el despliegue de la Sala limpia se puede completar en unos minutos; Sin consumo de reactivos, fuentes radiactivas y otros consumibles, los dispositivos electrónicos de estado sólido no tienen componentes móviles, los costos de mantenimiento son extremadamente bajos y el período de mantenimiento libre es largo. El sistema también tiene las ventajas de alarmas programables independientes, configuración de relés, datos de corte de energía sin pérdida, muestreo de tuberías de 80 metros de largo, etc. el Protocolo de comunicación abierto es más conveniente para el desarrollo e integración secundarios y se adapta a los exigentes requisitos de producción de la industria de semiconductores.

La introducción de este sistema no solo puede mejorar efectivamente la consistencia de la resistencia de los dispositivos semiconductores, prolongar la vida útil de los filtros, reducir el tiempo de parada de la producción, sino también promover la mejora del nivel de producción limpia de la industria con el empoderamiento científico y tecnológico. Con muchos años de experiencia en la industria de semiconductores, duquetec proporciona una garantía confiable de monitoreo AMC para las empresas de semiconductores con tecnología y servicios íntimos.