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Correo electrónico
huijuan_sun@bct-tech.com
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Teléfono
18610719775
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Dirección
Edificio 1, patio 6, calle anqing, zona industrial B del aeropuerto, Distrito shunyi, Beijing
Solución
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Esbozo del programa
Impulsado por las necesidades de inteligencia artificial y computación de alta eficiencia, con el desarrollo de la cuarta generación de materiales semiconductores y tecnología de núcleo, el ancho de línea del chip ha entrado rápidamente de 70 nm a la era por debajo de 7 nm. En los procesos de producción por debajo de 30 nm, la importancia de la detección de contaminantes moleculares gaseosos traza (amc) ha aumentado a un nivel muy importante.
La precisión de trazas, la exhaustividad del monitoreo, el análisis automático de Big data y la introducción del concepto de control inteligente de Ia juegan un papel vital en la reducción del impacto de rendimiento causado por amc.
La serie BCT - amc, desarrollada y producida de forma independiente por Beijing bosaide Technology co., ltd., el sistema de Monitoreo Ambiental del proceso de semiconductores, que cubre muchos escenarios, como monitoreo en línea, análisis de laboratorio y análisis de trazabilidad in situ de la máquina, análisis cuantitativo completo preciso de más especies de materia orgánica, automatización e integración de alto grado del proceso de análisis, con una base de datos especial de contaminación AMC y una biblioteca de soluciones de eliminación, con la bendición de la tecnología de ia, realmente resuelve los problemas prácticos del Departamento de control de calidad y el Departamento de control de microcontaminación.
Escena típica
1. punto de proceso - sistema de análisis de precisión AMC (cov) automatizado en línea
Monitoreo en línea de los puntos de monitoreo de producción:
• Utilizar un tubo de muestreo PFA súper limpio para la distribución de la fábrica, con un rango de monitoreo de 35.000 a 75.000 m2
- muestreo automático, concentración, análisis de GC - ms, almacenamiento en la nube, generación automática de informes de detección por ia, con función de alarma de umbral excesivo
• Monitoreo automatizado de programación de 7 × 24 horas
• recubrimiento inerte de todas las piezas en todo el proceso para evitar residuos y adsorción
• Sistema Especial de captura y sistema de enfoque, que mejora considerablemente la línea de detección y la forma del pico es más aguda.
2. sistema de análisis preciso AMC (cov) de laboratorio
Análisis de laboratorio de muestreo manual de puntos sospechosos:
• El sistema se utiliza en el laboratorio y actúa juntos para obtener un límite de detección más bajo basado en las características de una fuerte capacidad de captura, una fuerte capacidad de eliminación de impurezas, una fuerte capacidad de resistencia a la adsorción, una alta precisión de inyección, un circuito de gas especial, todo el proceso sin puntos fríos y una limpieza muy limpia.
- análisis cuantitativo de componentes desconocidos: el sistema permite un análisis completo de la sustancia de las muestras
• Paquete de métodos de detección de sustancias AMC (cov) desarrollado especialmente para empresas de semiconductores
• fuerte puntualidad de la detección: sustancias contaminantes cualitativas y cuantitativas rápidas, detección oportuna de fuentes de contaminación por AMC (cov)
Horno de calentamiento de cuarzo de obleas, calentamiento y volatilización de muestras:
• Paquete de métodos de detección de sustancias AMC (cov) desarrollado especialmente para empresas de semiconductores
• fuerte puntualidad de la detección: sustancias contaminantes cualitativas y cuantitativas rápidas, detección oportuna de fuentes de contaminación por AMC (cov)
3. Mesa de trabajo - sistema portátil de análisis de precisión AMC (cov)
Mesa de trabajo - Análisis de trazabilidad de la contaminación:
- análisis rápido
En el modo de navegación de la espectrometría de masas única, el instrumento entra directamente en la espectrometría de masas sin pasar por la columna cromatográfica, analiza en segundos y emite datos en tiempo real.
- alta sensibilidad
Trazabilidad específica, mayor sensibilidad: modo de espectrometría de masas única, respuesta de segundo nivel, visualización dinámica en tiempo real de la contaminación, si es necesario, se pueden seleccionar iones para utilizar el modo SIM para realizar maniobras específicas.
La tecnología de inyección de membrana permite el enriquecimiento secundario de la muestra antes de entrar en la espectrometría de masas, mejorando la sensibilidad.
- trazabilidad precisa
Nuevo modo de navegación, profundizar en el taller y apuntar directamente a la fuente
En comparación con los equipos de navegación tradicionales, la calidad es más ligera y la resistencia sísmica es más fuerte, y sobre la base de la navegación tradicional, se puede entrar aún más en el taller, rastrear con precisión la fuente hasta el punto de proceso de producción de contaminación y ayudar a las empresas a lograr el control de los puntos de contaminación.
- resultados precisos
Doble modo de trabajo: modo de navegación + modo de análisis de punto fijo GC - MS
Utilizar una fuente eI de 70ev + espectrometría de masas de barra de cuatro etapas para caracterizar y cuantificar cualitativamente, ionizar completamente los COV en el aire y confiar en la biblioteca espectral NIST estándar para caracterizar con precisión; Con la bendición de la norma nacional, los resultados son comparables a los del laboratorio.
- fuerte idoneidad ambiental
Sistema de vacío de bomba no mecánica, más aplicable al medio ambiente
Abandonar los componentes giratorios de alta velocidad y utilizar bombas de vacío no mecánicas para resolver problemas como la incapacidad de funcionar en vibraciones multidimensionales y grandes.
Resultados de los datos y espectro de detección
¡Se ha introducido la solución de monitoreo AMC entre la fábrica de procesos de semiconductores y el entorno del equipo. ¡ Póngase en contacto con nosotros para obtener más información!