¿¿ cuál es el sistema de transmisión de haz ultravioleta extremo? ¿Lian xiang? ¿¿ cuáles son los sistemas clave de la tecnología de fuente de luz (dcls)? ¿, principalmente? ¿Yu estará en el vacío? Y no puede estar vacío¿¿ haces ultravioleta extremos transmitidos en? ¿¿ transmisión efectiva a la investigación experimental? Como estación.El instrumento de creación de espectro lleva a cabo y completa el diseño óptico del sistema de transmisión de haz de luz. ¿Diseño de procesos, instalación en línea y pruebas de integración? Funciona, los resultados de la puesta en marcha con luz coinciden¿¿ se han entregado y invertido sin problemas los requisitos de los indicadores esperados? ¿Hacer?