Para la mayoría de los fotorresistentes y los sustratos de si, su adherencia es generalmente buena, pero en la litografía, generalmente se utilizan algunos sustratos como zafiro, nitruro de galio, arsénico de galio e incluso películas de metales preciosos. la adherencia de este tipo de sustratos a los fotorresistentes a menudo no es ideal, lo que dará lugar a problemas como "grietas" o incluso fotorresistentes en los enlaces de desarrollo fotorresistente posteriores. Por lo tanto, debe mejorarse por medios tecnológicos, este paso lo llamamos tratamiento de adición o ayuda a la adherencia.

La sílice presente en forma de óxido (oxidación natural) de una superficie de cuarzo, vidrio o silicio y la mayoría de los metales forman un enlace oh polar en su superficie después de estar expuestos a la atmósfera durante un tiempo suficiente a una cierta humedad. Este sustrato es hidrofílico, por lo que tiene una mala afinidad con las moléculas de resina no polar o de Baja polar del fotorresistente. Para que la superficie de tal sustrato sea hidrofóbica, moléculas no polares como hmds pueden adherirse a su superficie por métodos químicos.

El hmds se une a los átomos de si en una superficie libre de oxígeno y se une a los átomos de oxígeno en la superficie del Grupo de óxido (si es necesario, descomposición del Grupo oh) para liberar amoníaco. El metileno no polar aísla directamente la superficie del sustrato para formar una superficie hidrofóbica, que tiene una buena humectabilidad y adherencia al fotorresistente.

Principio de funcionamiento:

A temperatura ambiente, el vapor hmds se transporta en un "espumante" a través de nitrógeno seco y luego se transfiere a un sustrato calentado (75 - 120 ° c), donde el hmds se une químicamente como una sola película en la superficie del sustrato.

Si el hmds líquido se aplica directamente al sustrato, la capa hmds solo puede actuar como una capa de adhesión física y no mejora la adherencia; En segundo lugar, la capa hmds libera amoníaco durante el proceso de horneado delantero, entrando en la capa fotorresistente entrelazada desde cerca del sustrato, frenando así el proceso de desarrollo.

Características del producto:

Estructura de apariencia:

★ la carcasa está pintada después de un tratamiento antioxidante superficial, como corte, pulido, lavado ácido y fosfatación de placas de acero laminadas en frío a3, y el estudio utiliza sus316 placas de acero inoxidable limpias completamente soldados, tratamiento de sellado resistente a altas temperaturas, fortaleciendo la estructura para garantizar que la Caja cambie invisiblemente a alta presión.

★ el estudio es de alta estanqueidad y la fuga de gas puede alcanzar los 100 PA / H.

★ ventana de Observación de vidrio templado a prueba de explosiones de doble capa, puerta interior de vidrio a prueba de explosiones de 10 mm.

★ la capa de aislamiento térmico adopta un material de aislamiento térmico de fibra de silicato de aluminio de alta densidad de 100 mm de espesor y 100 k, y el efecto de aislamiento térmico es bueno.

★ el sello del marco de la puerta utiliza tiras de sellado de caucho de silicona sin flúor, que son resistentes a altas temperaturas y Envejecimiento.

Sistema de control de temperatura:

★ calentador heterosexual de acero inoxidable, que rodea la pared exterior del estudio y se calienta en todos los lados.

★ interfaz hombre - máquina de 7 pulgadas, control PLC + IDP + ssr, ancho de pulso cíclico sin contacto ssr, cálculo inteligente idp, temperatura constante automática, supresión de temperatura excesiva, alarma de desconexión del sensor, memoria de corte de energía, control de temperatura preciso, control simple.

★ se pueden configurar varios modos de operación de acuerdo con el proceso.

★Sensor de temperatura de resistencia de platino blindado de acero inoxidable Pt100 de alta precisión

Sistema de seguridad:

★ cerradura de botón

★ alarma de nivel hmds

★ protección contra la sobretemperatura

★ protección contra sobrecarga de corriente

★ protección de la secuencia de fases

★ protección contra fugas eléctricas

★ protección a tierra